一種泡生法制備藍(lán)寶石單晶的生長方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201410135638.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN103966661A | 公開(公告)日 | 2014-08-06 |
申請公布號 | CN103966661A | 申請公布日 | 2014-08-06 |
分類號 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 左洪波;楊鑫宏;張學(xué)軍;李鐵 | 申請(專利權(quán))人 | 七臺河奧瑞德光電技術(shù)有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 150001 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街357號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種泡生法制備藍(lán)寶石單晶的生長方法。它主要包括以下控制階段:放肩、等徑生長和收尾階段,引晶結(jié)束后即為放肩階段,放肩階段分為放肩初期和放肩后期,通過調(diào)節(jié)電壓控制降溫速度并配合晶體提拉速度,實(shí)現(xiàn)放肩初期平穩(wěn)生長,生長20~25h后晶體重量達(dá)到1.5kg左右,進(jìn)入放肩后期階段,電壓調(diào)節(jié)量小于放肩初期,放肩后期增大提拉速度并緩慢降溫,生長45~52h,晶體重量約4kg后進(jìn)入等徑生長階段,等徑生長階段減小晶體的提拉速度,同時加快降溫,生長75h,晶體重量約為28kg~32kg后進(jìn)入收尾階段,收尾階段進(jìn)一步減慢降溫速度并快速提拉,實(shí)現(xiàn)自動拉脫。本發(fā)明能夠解決傳統(tǒng)泡生法生長藍(lán)寶石單晶內(nèi)部存在較多氣泡的問題。 |
