一種超薄薄膜電化學(xué)沉積系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920274025.9 申請日 -
公開（公告）號 CN210367951U 公開（公告）日 2020-04-21
申請公布號 CN210367951U 申請公布日 2020-04-21
分類號 C25D3/38;C25D5/10;C25D17/12;C25D21/12 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 葉穎輝 申請（專利權(quán)）人 深圳市匯美新科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京挺立專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳市匯美新科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣路441號龍崗天安數(shù)碼創(chuàng)新園二號廠房A304
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種超薄薄膜電化學(xué)沉積系統(tǒng)，放卷模塊，用于放卷膜面；前處理模塊，用于微蝕洗及清潔膜面的表面；第一沉積模塊，用于對膜面的雙面預(yù)鍍沉積復(fù)合銅層；第二沉積模塊，用于對膜面的復(fù)合銅層進(jìn)行雙面增厚沉積銅層；清洗模塊，用于對膜面進(jìn)行清洗；保護(hù)層沉積模塊，用于在清洗后的膜面上沉積保護(hù)層；后處理模塊，用于對膜面進(jìn)行清潔、烘干、切割；收卷模塊，用于收卷膜面。采用本實用新型的超薄薄膜電化學(xué)沉積系統(tǒng)，可以快速進(jìn)行超薄薄膜的電鍍加工，一次即可完成雙面電鍍，加工效率高，并且機(jī)構(gòu)設(shè)置合理，有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，質(zhì)量可控，張力控制精度高，超薄薄膜的外觀性能好。