一種超薄薄膜電化學(xué)沉積系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910161419.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109735880A 公開（公告）日 2019-05-10
申請公布號 CN109735880A 申請公布日 2019-05-10
分類號 C25D3/38（2006.01）I; C25D5/10（2006.01）I; C25D17/12（2006.01）I; C25D21/12（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 葉穎輝 申請（專利權(quán)）人 深圳市匯美新科技有限公司
代理機構(gòu) 北京挺立專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳市匯美新科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣路441號龍崗天安數(shù)碼創(chuàng)新園二號廠房A304
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種超薄薄膜電化學(xué)沉積系統(tǒng)，放卷模塊，用于放卷膜面；前處理模塊，用于微蝕洗及清潔膜面的表面；第一沉積模塊，用于對膜面的雙面預(yù)鍍沉積復(fù)合銅層；第二沉積模塊，用于對膜面的復(fù)合銅層進行雙面增厚沉積銅層；清洗模塊，用于對膜面進行清洗；保護層沉積模塊，用于在清洗后的膜面上沉積保護層；后處理模塊，用于對膜面進行清潔、烘干、切割；收卷模塊，用于收卷膜面。采用本發(fā)明的超薄薄膜電化學(xué)沉積系統(tǒng)，可以快速進行超薄薄膜的電鍍加工，一次即可完成雙面電鍍，加工效率高，并且機構(gòu)設(shè)置合理，有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，質(zhì)量可控，張力控制精度高，超薄薄膜的外觀性能好。