一種復(fù)合納米壓印軟模板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520214157.4 申請日 -
公開（公告）號 CN205080364U 公開（公告）日 2016-03-09
申請公布號 CN205080364U 申請公布日 2016-03-09
分類號 G03F7/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 馬慧軍;王鵬;韋冬 申請（專利權(quán)）人 蘇州錦富技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 蘇州錦富新材料股份有限公司;蘇州錦富技術(shù)股份有限公司
地址 215126 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)勝浦分區(qū)江浦路39號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種復(fù)合納米壓印軟模板，具體制備為先制備由PDMS樹脂層組成的彈性層，再制備由UV樹脂層組成的硬質(zhì)層，然后將彈性層覆于硬質(zhì)層之上，固化后得到復(fù)合納米壓印軟模板。本實用新型采用多層遞進變化方法制備的復(fù)合納米壓印軟模板，既可以獲得較高硬度的結(jié)構(gòu)層，又可以解決高硬度層脫落和開裂的問題；并且制備工藝簡易、成本低，適于工業(yè)化生產(chǎn)。