一種表面測量方法、裝置以及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610293153.9 申請日 -
公開（公告）號 CN105806195B 公開（公告）日 2018-07-27
申請公布號 CN105806195B 申請公布日 2018-07-27
分類號 G01B5/28 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張宏立;闕正湘 申請（專利權(quán)）人 湖南科瑞特科技有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 湖南科瑞特科技股份有限公司
地址 410000 湖南省長沙市高新區(qū)麓谷大道627號新長海麓谷中心第2棟二樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種表面測量方法、裝置及系統(tǒng)，該方法包括：將刀具移動到待測量部件的待檢測表面的基準(zhǔn)點的位置，根據(jù)基準(zhǔn)點建立三維坐標(biāo)系得到基準(zhǔn)點的坐標(biāo)；確定待檢測表面上的多個待檢測位置，將刀具分別移動到待檢測位置的正上方；移動探針以使針尖接觸到待檢測表面，移動刀具以使刀尖接觸到待檢測位置，在針尖和刀尖均接觸到待檢測表面時形成閉合回路，產(chǎn)生觸發(fā)信號；分別獲取觸發(fā)信號產(chǎn)生時待檢測位置相對于基準(zhǔn)點在z軸上的高度，結(jié)合基準(zhǔn)點的z軸坐標(biāo)得到待檢測位置在z軸上的坐標(biāo)；利用各待檢測位置在x、y以及z軸上的坐標(biāo)值得到待檢測表面的函數(shù)；利用函數(shù)得到待檢測表面各點的位置坐標(biāo)，實現(xiàn)對待檢測表面的測量。