一種圖像檢測裝置及運用圖像檢測裝置的檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110223813.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113009795A 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN113009795A 申請公布日 2021-06-22
分類號 G03F9/00;G01K11/12 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 霍大云;張斌;劉麟躍;劉偉 申請（專利權(quán)）人 錫凡半導(dǎo)體無錫有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)長江南路35號206
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及激光成像的領(lǐng)域，尤其是涉及一種圖像檢測裝置及運用圖像檢測裝置的檢測方法，圖像檢測裝置包括基底，基底為方形桿，基底的表面涂有感溫變色材料，運用圖像檢測裝置的檢測方法，其技術(shù)方案要點是：初定位：將基底固定在吸盤上；再定位：將基底移動至出光鏡頭的下方；激光對焦：調(diào)節(jié)基底的位置使得激光投射在感溫變色材料上；激光成像：激光在感溫變色材料上成紅色圖像；圖像獲?。簩⒒滓苿又翆ξ幌鄼C的下方，對位相機對紅色圖像進行抓拍；圖像對比：對位相機將獲取的紅色圖像傳輸?shù)綄Ρ认到y(tǒng)與原圖進行對比，對比系統(tǒng)輸出結(jié)果。本申請具有提高變色標(biāo)記的穩(wěn)定性，從而便于對激光直寫光刻設(shè)備進行圖像校準(zhǔn)的效果。