蝕刻液及蝕刻液的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811337370.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109536961B 公開（公告）日 2021-03-30
申請公布號 CN109536961B 申請公布日 2021-03-30
分類號 C23F1/18(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 楊丁;黃雙武 申請（專利權(quán)）人 廣東東明新材科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 葉劍
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)福海街道橋頭社區(qū)福海信息港A7棟411-423
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種蝕刻液及蝕刻液的制備方法，蝕刻液包括如下質(zhì)量濃度的各組分：過硫酸銨150克/升?350克/升；穩(wěn)定劑10克/升?110克/升；促進(jìn)劑0.01克/升?0.05克/升；表面活性劑0.001克/升?0.5克/升；水余量。上述蝕刻液，相對于傳統(tǒng)的蝕刻液，未含氯，因此，蝕刻液體系中未包含氯離子，不會對環(huán)境產(chǎn)生污染，消除了因氯離子所造成的環(huán)境及大氣污染，有利于清潔生產(chǎn)。且在蝕刻過程中，銑切速度較快，能夠適用于銅基線路板的化學(xué)銑切。??