一種基于高靈敏度相位型SPR傳感器的氣體容器泄露的檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911040552.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112747862A 公開(kāi)（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112747862A 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類(lèi)號(hào) G01M3/04;G01N21/552 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 何賽靈;劉振超 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 亙冠智能技術(shù)（杭州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 310015 浙江省杭州市濱江區(qū)華創(chuàng)大廈701室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種基于相位型SPR傳感器的氣體容器泄露的檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法，可以有效地解決現(xiàn)有技術(shù)中配置價(jià)格昂貴，靈敏度不夠以及檢測(cè)實(shí)時(shí)性不夠且操作復(fù)雜等缺點(diǎn)。系統(tǒng)包括：激光器、起偏器、棱鏡相位調(diào)制模塊、SPR傳感模塊、SPR傳感氣室、氣壓平衡裝置（或者抽氣裝置）、待檢測(cè)氣體容器、檢偏器、光強(qiáng)探測(cè)器，激光光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)起偏器，變成線偏光，經(jīng)過(guò)棱鏡相位調(diào)制模塊，被調(diào)制為具有不同相位的橢偏光，再經(jīng)過(guò)SPR傳感氣室內(nèi)的SPR傳感模塊，最后經(jīng)過(guò)檢偏器和光強(qiáng)探測(cè)器測(cè)量并計(jì)算得到SPR傳感的攜帶氣體折射率信息的相位響應(yīng)值，最終通過(guò)相位響應(yīng)值的變化來(lái)表征氣體容器的泄漏狀態(tài)。