多晶硅生產(chǎn)工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610092668.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107098348B 公開(kāi)（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN107098348B 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) C01B33/03（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 齊林喜;郭金強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 巴彥淖爾聚光硅業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 儲(chǔ)照良
地址 015500 內(nèi)蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市烏拉特后旗青山工業(yè)園區(qū)經(jīng)三路與緯四路交叉口東南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多晶硅生產(chǎn)工藝，包括如下步驟：硅棒初步生長(zhǎng)步驟：在還原爐里通入氫氣和二氯二氫硅，在硅芯表面生成多晶硅使硅棒生長(zhǎng)到預(yù)定尺寸；硅棒完整生長(zhǎng)步驟：通入三氯氫硅、二氯二氫硅和氫氣的混合氣體，完成硅棒生長(zhǎng)；開(kāi)爐步驟:待硅棒生長(zhǎng)完成后，打開(kāi)還原爐，取出硅棒。本發(fā)明的多晶硅生產(chǎn)工藝，采用兩段生長(zhǎng)的方式，開(kāi)始采用二氯二氫硅和氫氣反應(yīng)的方式，比常規(guī)氫氣還原三氯氫硅的方式生長(zhǎng)速度快，一般倒棒的事故多發(fā)生在晶棒生長(zhǎng)的前期，這就減少倒棒發(fā)生的可能，本發(fā)明的多晶硅生產(chǎn)工藝，能夠減少倒棒率，降低生產(chǎn)成本。硅棒完整生長(zhǎng)階段，加入有部分二氯二氫硅，可以有效地增加硅的生成率，提高原料的轉(zhuǎn)化效率10%到15%。