多晶硅的還原生產(chǎn)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810370079.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110395735A 公開(kāi)（公告）日 2019-11-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN110395735A 申請(qǐng)公布日 2019-11-01
分類號(hào) C01B33/035（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 齊林喜; 陳建宇; 郝愛(ài)科; 趙亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 巴彥淖爾聚光硅業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京迎碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張群峰;錢(qián)揚(yáng)保
地址 015543 內(nèi)蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市烏拉特后旗青山工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 多晶硅的還原生產(chǎn)方法，包括：提供還原爐；將多個(gè)硅芯棒安裝在還原爐中，控制爐內(nèi)有效單位體積內(nèi)硅芯生長(zhǎng)表面面積；向還原爐中通入氫氣和三氯氫硅混合氣體原料；控制還原爐內(nèi)溫度；在硅芯棒上生長(zhǎng)多晶硅體，控制爐內(nèi)有效單位體積內(nèi)最終長(zhǎng)成的多晶硅體表面積；停止通入混合氣體原料，并切換為通入氫氣，直至還原爐內(nèi)溫度降低至預(yù)定值。