多晶硅生產(chǎn)工藝及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510281151.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106276917B 公開(kāi)（公告）日 2019-01-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN106276917B 申請(qǐng)公布日 2019-01-22
分類號(hào) C01B33/107 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 齊林喜;陳杰;趙亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 巴彥淖爾聚光硅業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 聶智
地址 015500 內(nèi)蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市烏拉特后旗青山工業(yè)園區(qū)經(jīng)三路與緯四路交叉口東南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種多晶硅生產(chǎn)工藝，該工藝包括如下步驟：將原料四氯化硅加熱汽化并與原料氫氣按比例混合成汽化處理后氣體；將汽化處理后氣體注入氫化反應(yīng)裝置中使四氯化硅與氫氣在氫化反應(yīng)裝置中進(jìn)行冷氫化反應(yīng)，生成包含有三氯氫硅的總反應(yīng)生成氣；將總反應(yīng)生成氣中的三氯氫硅冷凝分離出來(lái)；其中，所述氫化反應(yīng)裝置包括用于接收汽化處理后氣體的第一級(jí)氫化反應(yīng)器，及與第一級(jí)氫化反應(yīng)器串聯(lián)的次級(jí)氫化反應(yīng)器，所述工藝還包括將汽化后的四氯化硅直接補(bǔ)充到次級(jí)氫化反應(yīng)器中的步驟，該工藝有效提高了三氯氫硅的產(chǎn)出率。