氣體充裝系統(tǒng)及充裝方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201911355853.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN110966518A | 公開(公告)日 | 2020-04-07 |
申請公布號 | CN110966518A | 申請公布日 | 2020-04-07 |
分類號 | F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04 | 分類 | 氣體或液體的貯存或分配; |
發(fā)明人 | 馬棟梁;陳意橋;張國禎;于天 | 申請(專利權(quán))人 | 蘇州焜原光電有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 | 代理人 | 蘇州焜原光電有限公司 |
地址 | 215211 江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明針對采用現(xiàn)有技術(shù)氦氣充裝方法和設(shè)備進(jìn)行氦氣充裝時(shí)使得氦氣的純度降低,造成氦氣壓縮機(jī)性能低、壽命低,運(yùn)行成本高的不足,提供一種氣體充裝系統(tǒng)及充裝方法,該發(fā)明在供氣管道的與供氣容器相連接的一端設(shè)置有調(diào)壓閥、過濾器和隔離閥一,在與被充裝裝置相連接的一端設(shè)置有隔離閥五,過濾器位于隔離閥一和調(diào)壓閥間,還設(shè)置有高真空泵和真空規(guī),以及加熱裝置和溫度檢測裝置,加熱裝置的加熱器件與溫度控制裝置的輸出端電連接,溫度檢測裝置與溫度控制裝置的輸入端電連接;采用本發(fā)明方法及系統(tǒng)充裝氣體,可以比較徹底地抽出殘余氣體,同時(shí)運(yùn)用RGA監(jiān)控氣體成份,對氣體成份進(jìn)行實(shí)時(shí)掃描監(jiān)測,以達(dá)到空間內(nèi)殘余氣體含量的最低化。 |
