氣體充裝系統(tǒng)及充裝方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911355853.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110966518A 公開（公告）日 2020-04-07
申請公布號 CN110966518A 申請公布日 2020-04-07
分類號 F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 馬棟梁;陳意橋;張國禎;于天 申請（專利權(quán)）人 蘇州焜原光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 代理人 蘇州焜原光電有限公司
地址 215211 江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明針對采用現(xiàn)有技術(shù)氦氣充裝方法和設(shè)備進(jìn)行氦氣充裝時(shí)使得氦氣的純度降低，造成氦氣壓縮機(jī)性能低、壽命低，運(yùn)行成本高的不足，提供一種氣體充裝系統(tǒng)及充裝方法，該發(fā)明在供氣管道的與供氣容器相連接的一端設(shè)置有調(diào)壓閥、過濾器和隔離閥一，在與被充裝裝置相連接的一端設(shè)置有隔離閥五，過濾器位于隔離閥一和調(diào)壓閥間，還設(shè)置有高真空泵和真空規(guī)，以及加熱裝置和溫度檢測裝置，加熱裝置的加熱器件與溫度控制裝置的輸出端電連接，溫度檢測裝置與溫度控制裝置的輸入端電連接；采用本發(fā)明方法及系統(tǒng)充裝氣體，可以比較徹底地抽出殘余氣體，同時(shí)運(yùn)用RGA監(jiān)控氣體成份，對氣體成份進(jìn)行實(shí)時(shí)掃描監(jiān)測，以達(dá)到空間內(nèi)殘余氣體含量的最低化。