分子束外延系統(tǒng)中GaSb襯底安裝固定用樣品架

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023235493.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214142609U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN214142609U 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) C30B25/12（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陳意橋;王偉強(qiáng);周浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州焜原光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 代理人 于宏偉
地址 215211江蘇省蘇州市吳江區(qū)黎里鎮(zhèn)汾湖大道558號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中固定GaSb襯底的方法存在的易使襯底軟化、襯底的溫度均勻性不易保證的不足，提供分子束外延系統(tǒng)中GaSb襯底安裝固定用樣品架，樣品架包括筒體、鉭片和壓緊固定裝置，在筒體內(nèi)表面設(shè)置有支撐結(jié)構(gòu)，鉭片設(shè)置在支撐結(jié)構(gòu)上，壓緊固定裝置位于鉭片上方將鉭片固定在筒體內(nèi)，采用本實(shí)用新型的樣品架，不會(huì)帶來(lái)雜質(zhì)，鉭片位于鉬質(zhì)的筒體上設(shè)置的支撐結(jié)構(gòu)上，鉭片被壓緊固定裝置固定在支撐結(jié)構(gòu)上，可防止使用過(guò)程中鉭片移動(dòng)，能保證加熱均勻性，鉭片具有一定的硬度，可以很好地支撐襯底，不會(huì)變形，完美地巧妙地解決了現(xiàn)有技術(shù)鉬托樣品架存在的技術(shù)問(wèn)題，通過(guò)張緊力自動(dòng)固定在筒體內(nèi)，實(shí)現(xiàn)固定，因此，使鉭片的固定簡(jiǎn)單、易操作。