一種半導(dǎo)體芯片用光阻液噴涂裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021549026.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212759317U | 公開（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請公布號 | CN212759317U | 申請公布日 | 2021-03-23 |
| 分類號 | B05B14/00(2018.01)I;B01D46/10(2006.01)I | 分類 | 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 雷曉宏 | 申請（專利權(quán)）人 | 固安浩瀚光電科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京圣州專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王振佳 |
| 地址 | 065500河北省廊坊市固安縣工業(yè)園區(qū)南區(qū)環(huán)保產(chǎn)業(yè)園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體芯片用光阻液噴涂裝置，包括臺面，臺面上設(shè)置有內(nèi)置槽，內(nèi)置槽的內(nèi)壁上固定有支撐塊，支撐塊上架立有與內(nèi)置槽滑動塞入的網(wǎng)板，網(wǎng)板起到一個回流過濾的效果，網(wǎng)板上固定有定位座，定位座內(nèi)設(shè)置有半導(dǎo)體芯片本體，臺面上固定有防護框，防護框上固定有缸體，缸體為液壓缸，行程足夠，推力穩(wěn)定，缸體上固定有頂板。通過網(wǎng)板能夠在噴灑光阻液時，對光阻液進行廢渣過濾，通過內(nèi)置槽對光阻液進行收集，最后，通過泵體抽出，實現(xiàn)光阻液循環(huán)使用，減少浪費。?? |
