一種半導(dǎo)體陶瓷表面污垢清洗裝置及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010753291.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111863597A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111863597A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/02(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 雷曉宏 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 固安浩瀚光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京圣州專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 固安浩瀚光電科技有限公司 |
| 地址 | 065500河北省廊坊市固安縣工業(yè)園區(qū)南區(qū)環(huán)保產(chǎn)業(yè)園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體陶瓷表面污垢清洗裝置及其使用方法，涉及半導(dǎo)體陶瓷生產(chǎn)處理技術(shù)領(lǐng)域。包括內(nèi)洗搭載基臺(tái)，內(nèi)洗搭載基臺(tái)的一端通過(guò)螺釘固定有三個(gè)步進(jìn)電機(jī)。本發(fā)明專(zhuān)利通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)輸出調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)和自動(dòng)陶瓷裝夾結(jié)構(gòu)的配合設(shè)計(jì)，使得裝置便于完成對(duì)半導(dǎo)體陶瓷的自動(dòng)防破損分批次裝夾，避免了裝夾過(guò)程中的人力鎖緊和裝夾接觸破損，并通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)輸出調(diào)節(jié)完成一體的帶動(dòng)便于完成多個(gè)方向的上料及攪拌清潔和離心甩干；且通過(guò)循環(huán)凈化清潔用水結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，使得裝置便于完成對(duì)清潔用水的多段式凈化處理，使得清洗過(guò)程中節(jié)省大量的水資源并避免了混雜工業(yè)污染的水直接排出，提高裝置的使用經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)境保護(hù)性能。?? |
