一種半導(dǎo)體廢氣處理用進(jìn)氣系統(tǒng)及控制方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111172337.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114100303A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114100303A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類號(hào) | B01D53/00（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 楊春水;張坤;楊春濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京匠橋?qū)＠碛邢薰?/td> | 代理人 | 王冰冰 |
| 地址 | 241000安徽省蕪湖市江北產(chǎn)業(yè)集中區(qū)科技孵化器12號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體廢氣處理用進(jìn)氣系統(tǒng)及控制方法，進(jìn)氣系統(tǒng)包括廢氣進(jìn)氣管路，廢氣進(jìn)氣管路的出口端與廢氣處理裝置連接，所述廢氣進(jìn)氣管路的出口端設(shè)有第一壓力傳感器，所述進(jìn)氣系統(tǒng)還包括氣體緩存罐和用于將廢氣進(jìn)氣管路中的廢氣導(dǎo)向氣體緩存罐且對(duì)氣體緩存罐的出氣調(diào)壓后回流向廢氣進(jìn)氣管路出口端的氣體緩存進(jìn)氣管路。本發(fā)明通過(guò)合理設(shè)置進(jìn)氣系統(tǒng)，當(dāng)廢氣處理裝置進(jìn)氣口氣量過(guò)大導(dǎo)致壓力瞬間升高時(shí)，啟動(dòng)氣體緩存進(jìn)氣管路，保證設(shè)備的正常運(yùn)行。當(dāng)進(jìn)氣壓力恢復(fù)正常后自動(dòng)切換回原進(jìn)氣管路。 |
