一種應用于半導體廢氣處理設備的水洗塔

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920702329.0 申請日 -
公開（公告）號 CN210473502U 公開（公告）日 2020-05-08
申請公布號 CN210473502U 申請公布日 2020-05-08
分類號 B01D53/18;B01D53/14;B01D47/06 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 章文軍;楊春水;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;王繼飛;張坤;閆蕭;蔡傳濤;席濤濤;王磊 申請（專利權）人 安徽京儀自動化裝備技術有限公司
代理機構 蕪湖思誠知識產權代理有限公司 代理人 鄭直
地址 241000 安徽省蕪湖市江北產業(yè)集中區(qū)管委會B樓403-J室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種應用于半導體廢氣處理設備的水洗塔，涉及半導體行業(yè)廢氣處理技術領域，包括與車間廢氣處理設備水箱連接用的連接管，所述連接管上端卡箍連接水洗塔，所述水洗塔上設有數個水管連接頭，本實用新型通過設置上層水洗塔、中層水洗塔、下層水洗塔，使得本裝置拆卸、維護更加方便，通過設置溢流裝置，給溢流裝置通過設置上的水管連接車間自來水源，自來水進入溢流腔，隨溢流口流入下連接件、中層水洗塔和下層水洗塔的內壁，從而對有污垢的塔壁進行水洗，通過在上層水洗塔上設置新風組合件，使得對上層水洗塔進行通風，減少了出口水氣過多。