一種適用于半導(dǎo)體制程廢氣處理設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920705640.0 申請日 -
公開（公告）號 CN210473565U 公開（公告）日 2020-05-08
申請公布號 CN210473565U 申請公布日 2020-05-08
分類號 B01D53/78;B01D53/58;B01D53/46;B01D53/68;B01D47/06 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 席濤濤;王繼飛;楊春水;陳彥崗;楊春濤;章文軍;張坤;閆蕭;蔡傳濤;王磊 申請（專利權(quán)）人 安徽京儀自動化裝備技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 蕪湖思誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭直
地址 241000 安徽省蕪湖市江北產(chǎn)業(yè)集中區(qū)管委會B樓403-J室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用型新公開一種適用于半導(dǎo)體制程廢氣處理設(shè)備，涉及廢氣處理領(lǐng)域，包括前水洗設(shè)備、熱反應(yīng)設(shè)備、后水洗設(shè)備和水循環(huán)設(shè)備，增加前水洗設(shè)備，能夠提前處理可溶于水的氣體以及去除粉塵物，并采用6路直管進氣即降低進氣量波動影響又防止堵塞，制程氣體是從反應(yīng)腔體底部進入反應(yīng)腔，能夠提前預(yù)熱氣體，增加氣體中水汽含量，使反應(yīng)更充分，部分水淋采用循環(huán)水，進水使用一路新水，并且使用一個水泵進行水設(shè)備循環(huán)和排污，降低成本，減少耗能，節(jié)約水資源；在傳輸管道上進行氣體冷卻，防止洗滌器過熱；本實用型新優(yōu)化了傳統(tǒng)廢氣處理設(shè)備，更利于半導(dǎo)體制程廢氣的處理，且降低成本，減少耗能，提升處理效果，并增大制程氣體的處理量。