一種應(yīng)用于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的循環(huán)水箱

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920697383.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210473564U 公開(kāi)（公告）日 2020-05-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN210473564U 申請(qǐng)公布日 2020-05-08
分類(lèi)號(hào) B01D53/78;B01D53/75 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 章文軍;楊春水;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;王繼飛;張坤;閆蕭;蔡傳濤;席濤濤;王磊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 安徽京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖思誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭直
地址 241000 安徽省蕪湖市江北產(chǎn)業(yè)集中區(qū)管委會(huì)B樓403-J室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的循環(huán)水箱，涉及半導(dǎo)體行業(yè)廢氣清潔技術(shù)領(lǐng)域，包括水箱本體，所述水箱本體包括箱體和蓋板，所述蓋板上設(shè)有水洗塔連接口、反應(yīng)腔連接口以及水泵架，所述水泵架上設(shè)有立式水泵，所述立式水泵連接有與廢氣處理設(shè)備中水洗塔連接的循環(huán)管路，本實(shí)用新型的箱體通過(guò)設(shè)置前維護(hù)窗口和左維護(hù)窗口，使得方便了觀察箱體內(nèi)部情況，方便了維護(hù)，箱體材質(zhì)選擇耐酸堿材料，使用壽命長(zhǎng)，通過(guò)設(shè)置過(guò)濾板，使得箱體內(nèi)大顆粒臟污被過(guò)濾板過(guò)濾，有利于立式水泵維護(hù)運(yùn)行且不易損壞。