一種測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122078523.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215769472U 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN215769472U 申請公布日 2022-02-08
分類號 G05B23/02（2006.01）I 分類 控制；調節(jié);
發(fā)明人 宋朝陽;馮濤;常鑫;張悅超;李文博;董春輝;芮守禎;何茂棟;曹小康 申請（專利權）人 安徽京儀自動化裝備技術有限公司
代理機構 南京匠橋專利代理有限公司 代理人 王冰冰
地址 241000安徽省蕪湖市江北產(chǎn)業(yè)集中區(qū)科技孵化器12號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種測試裝置，包括半導體溫控裝置、循環(huán)液箱和用于連接半導體溫控裝置與循環(huán)液箱以形成循環(huán)輸送循環(huán)液的循環(huán)輸送管路，所述循環(huán)液箱內設有液位傳感器浮球，所述測試裝置還包括PLC和用于帶動液位傳感器浮球在循環(huán)液箱內升降運動的升降機構，所述半導體溫控裝置、液位傳感器和升降機構均與PLC電連接。通過PLC（程序控制氣缸自動伸縮，液位傳感器浮球輸出模擬量信號，便于檢測在不同溫度段液位傳感器的模擬數(shù)值運行輸出平穩(wěn)，保證溫控裝置運行在穩(wěn)定可靠的狀態(tài)下，滿足晶圓或面板生產(chǎn)工藝的需求。