一種應(yīng)用于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的廢氣反應(yīng)腔體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920705575.1 申請日 -
公開（公告）號 CN210110718U 公開（公告）日 2020-02-21
申請公布號 CN210110718U 申請公布日 2020-02-21
分類號 H01L21/67;B01D53/74 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 章文軍;楊春水;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;王繼飛;張坤;閆蕭;蔡傳濤;席濤濤;王磊 申請（專利權(quán)）人 安徽京儀自動化裝備技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 蕪湖思誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭直
地址 241000 安徽省蕪湖市江北產(chǎn)業(yè)集中區(qū)管委會B樓403-J室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的廢氣反應(yīng)腔體，包括入口管、外管、內(nèi)管、出水管、進水管，所述外管和內(nèi)管通過上法蘭和下法蘭焊接固定，所述外管設(shè)于內(nèi)管外側(cè)且兩者之間形成一冷卻腔，所述入口管有若干個，入口管安裝于內(nèi)管的側(cè)面且呈周向分布，入口管的外端延伸至外管的外側(cè)，冷卻腔和入口管之間通過隔絕管密封，所述出水管和進水管分別設(shè)在外管壁上方和下方且和冷卻腔相通,所述下法蘭的側(cè)面安裝有與內(nèi)管連通的進氣管。這種半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的廢氣反應(yīng)腔體，在使用過程中隔熱效果優(yōu)越、密封性好、熱能損失小、安裝方便快捷。