一種應(yīng)用于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920702326.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210473530U 公開(kāi)（公告）日 2020-05-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN210473530U 申請(qǐng)公布日 2020-05-08
分類(lèi)號(hào) B01D53/32;B01D53/14;F23G7/06 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 章文軍;楊春水;寧騰飛;陳彥崗;楊春濤;王繼飛;張坤;閆蕭;蔡傳濤;席濤濤;王磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖思誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭直
地址 241000 安徽省蕪湖市江北產(chǎn)業(yè)集中區(qū)管委會(huì)B樓403-J室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)，涉及半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)柜，所述機(jī)柜內(nèi)安裝有廢氣處理系統(tǒng)，所述廢氣處理系統(tǒng)包括氣動(dòng)三通閥，通過(guò)設(shè)置等離子體火炬、反應(yīng)腔、循環(huán)水箱和水洗塔，實(shí)現(xiàn)廢氣的處理，通過(guò)設(shè)置溢流部一和溢流部二，從而降低經(jīng)反應(yīng)腔反應(yīng)后的氣體溫度，對(duì)有污垢的水洗塔塔壁進(jìn)行水洗，通過(guò)在上層水洗塔上設(shè)置新風(fēng)組合件，使得對(duì)上層水洗塔進(jìn)行通風(fēng)，減少出口水氣過(guò)多，本實(shí)用新型為半導(dǎo)體廢氣處理提供了一種選擇，增加解決半導(dǎo)體廢氣處理的方案，處理廢氣安全可靠，范圍廣效率高。