一種常壓CVD設備的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820474137.4 申請日 -
公開（公告）號 CN208154907U 公開（公告）日 2018-11-27
申請公布號 CN208154907U 申請公布日 2018-11-27
分類號 F25D17/02 分類 制冷或冷卻；加熱和制冷的聯合系統(tǒng)；熱泵系統(tǒng)；冰的制造或儲存；氣體的液化或固化;
發(fā)明人 趙江波;余慶;張曉新;張敏森;楊勇;王艷兵;方勇進 申請（專利權）人 華越微電子有限公司
代理機構 上海精晟知識產權代理有限公司 代理人 華越微電子有限公司
地址 312000 浙江省紹興市環(huán)城西路天光橋3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種常壓CVD設備的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，包括熱交換器、循環(huán)水箱、循環(huán)泵、流量計、噴頭，所述的循環(huán)泵與流量計之間的管路上安裝有第一單向閥；所述的噴頭與熱交換器之間的管路上安裝有常閉閥,所述的常閉閥的兩端安裝有回路支管；所述的第一單向閥、流量計之間的管路與冷卻水進水管之間安裝有應急進水管路；所述的常閉閥、噴頭之間的管路與冷卻水出水管之間安裝有應急出水管路；所述的應急進水管路、應急出水管路上分別安裝有常開閥；所述的常開閥之后的應急進水管路上還安裝有第二單向閥。采用本實用新型后，可有效避免電力異常后噴頭出現高溫烘烤變形異常，減少設備損失。