硅片金屬雜質(zhì)檢測樣品保護(hù)裝置及硅片金屬雜質(zhì)檢測方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010258528.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113495095A 公開（公告）日 2021-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113495095A 申請(qǐng)公布日 2021-10-12
分類號(hào) G01N27/626（2021.01）I;G01N35/10（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳宇馳;張俊寶;陳猛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 重慶超硅半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 400714重慶市北碚區(qū)兩江新區(qū)云漢大道5號(hào)附188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片金屬雜質(zhì)檢測樣品保護(hù)裝置及硅片金屬雜質(zhì)檢測方法，通過本發(fā)明公開的方案，可以將金屬雜質(zhì)檢測樣品放置在保護(hù)裝置容納腔中的自動(dòng)進(jìn)樣器上，由于潔凈氣流循環(huán)系統(tǒng)可以為該保護(hù)裝置內(nèi)部輸入潔凈氣流，并采用了一定風(fēng)速的排風(fēng)，所以使得自動(dòng)進(jìn)樣器附近空間不受周圍的大氣波動(dòng)影響，且該保護(hù)裝置將金屬雜質(zhì)檢測樣品與外部污染源隔離，提升了檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。