超級結(jié)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023002477.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213519864U 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN213519864U 申請公布日 2021-06-22
分類號 H01L21/336（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 顧冬梅;黃繼頗;楊維 申請（專利權(quán)）人 上海賽鷹微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董杰
地址 241000安徽省蕪湖市弋江區(qū)服務(wù)外包產(chǎn)業(yè)園4號樓14層北側(cè)1401、1402、1403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種超級結(jié)，該超級結(jié)包括：半導(dǎo)體襯底、第二導(dǎo)電類型摻雜區(qū)和第二外延層，所述半導(dǎo)體襯底表面形成有具有第一導(dǎo)電類型摻雜的第一外延層，所述第二導(dǎo)電類型摻雜區(qū)和所述第二外延層為第二導(dǎo)電類型摻雜，所述第二導(dǎo)電類型摻雜區(qū)位于所述第二外延層和所述半導(dǎo)體襯底之間，且所述第二導(dǎo)電類型摻雜區(qū)和所述第二外延層垂直對準(zhǔn)，所述第二導(dǎo)電類型摻雜區(qū)和所述第二外延層形成的區(qū)域與所述第一外延層交錯排列。通過本實用新型提供的超級結(jié)，能夠降低工藝成本，減弱工藝難度，提高器件的可靠性。