一種新型可調(diào)基片輸送輥裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110180430.2 申請日 -
公開（公告）號 CN102286725B 公開（公告）日 2013-06-26
申請公布號 CN102286725B 申請公布日 2013-06-26
分類號 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 邵新宇;張國軍;張華書;黃禹;陳宇;劉高水;李海洲;王炳勇 申請（專利權(quán)）人 東莞市華科制造工程研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 東莞市華科制造工程研究院有限公司;廣東志成冠軍集團(tuán)有限公司
地址 523808 廣東省東莞市松山湖科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)科技九路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型可調(diào)基片輸送輥裝置，空間位置可調(diào)，能保證其剛性和可靠性，本裝置設(shè)有階梯軸，階梯軸外圍設(shè)有軸承座，軸承座為偏心結(jié)構(gòu)，階梯軸通過軸承座固定于真空腔墻體上，軸承座的安裝孔的中心線與真空腔墻體的中心線偏離0.5～1mm，階梯軸真空室內(nèi)的一端的光軸段上套接有傳送輥，傳送輥通過傳送鍵卡接階梯軸，傳送輥的兩側(cè)均設(shè)有一組螺母，階梯軸的光軸段端部具有細(xì)牙螺紋，階梯軸真空室外的一端套接有同步帶輪，同步帶輪通過傳送鍵卡接階梯軸；本發(fā)明不僅可以提高基片的鍍膜質(zhì)量，還可以降低焊接、加工、裝配等工序要求，使設(shè)備制造成本降低，能在軸向和徑向上可調(diào)，保證調(diào)整精度。