一種基于磁性開關(guān)控制的門閥裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920692771.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209892772U 公開（公告）日 2020-01-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN209892772U 申請(qǐng)公布日 2020-01-03
分類號(hào) F16K3/02（2006.01）; F16K3/30（2006.01）; F16K31/122（2006.01）; F16K31/06（2006.01）; F16K37/00（2006.01） 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 吳斌; 羅志明; 李勇河; 袁沖; 梅小艷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 瀘州金能移動(dòng)能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都華風(fēng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 瀘州金能移動(dòng)能源科技有限公司
地址 646000 四川省瀘州市瀘州高新區(qū)酒谷大道5段19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于磁性開關(guān)控制的門閥裝置，所述門閥裝置安裝在兩個(gè)工藝腔室之間，用于兩個(gè)工藝腔室之間的高真空隔離，所述門閥裝置包括閥殼、驅(qū)動(dòng)氣缸、連接桿、傳輸通道、磁性開關(guān)和閥板；所述閥殼的一側(cè)開設(shè)有供芯片傳輸?shù)膫鬏斖ǖ?，所述傳輸通道的兩?cè)分別連接所述門閥兩側(cè)的工藝腔室；所述閥殼內(nèi)部設(shè)置有用于隔檔所述傳輸通道的閥板；所述驅(qū)動(dòng)氣缸通過所述連接桿連接到所述閥板上通過所述驅(qū)動(dòng)氣缸推動(dòng)所述閥板到所述傳輸通道處，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)工藝腔室的高真空隔離；所述驅(qū)動(dòng)氣缸上設(shè)置有所述磁性開關(guān)。通過在兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸上加裝磁性開關(guān)傳感裝置，使應(yīng)用在CIGS共蒸發(fā)鍍膜沉積設(shè)備上的矩形門閥輸出的開到位和關(guān)到位信號(hào)更加穩(wěn)定。