一種畸變測(cè)試儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810151034.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101676704B 公開(kāi)（公告）日 2011-05-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN101676704B 申請(qǐng)公布日 2011-05-25
分類號(hào) G01M11/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 趙建科;張周鋒;周艷;王鋒;王虎;昌明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中科創(chuàng)星科技投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所;陜西光電子集成電路先導(dǎo)技術(shù)研究院有限責(zé)任公司
地址 710119 陜西省西安市高新區(qū)新型工業(yè)園信息大道17號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種畸變測(cè)試儀，包括轉(zhuǎn)臺(tái)，該測(cè)試儀還包括光源以及顯微成像系統(tǒng)；光源以及顯微成像系統(tǒng)處于同一光軸上并置于轉(zhuǎn)臺(tái)兩側(cè)。本發(fā)明提供了一種測(cè)量精度高、效率高、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定且功能可以擴(kuò)展的畸變測(cè)試儀。