一種射頻電源的檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910200851.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109975722B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN109975722B 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類(lèi)號(hào) G01R31/40 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉銳;孫鵬;陳杰 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 225000 江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)蜀崗西路19號(hào)1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種射頻電源的檢測(cè)方法，具體包括以下步驟：1）先將射頻電源劃分成供電模塊、放大模塊、控制模塊、Sensor模塊以及整機(jī)測(cè)試模塊這五大模塊；2）然后啟動(dòng)放大模塊單獨(dú)測(cè)試步驟，測(cè)試合格后，進(jìn)入步驟3；否則，根據(jù)測(cè)試結(jié)果更換放大模塊；并重新進(jìn)入步驟2；3）然后啟動(dòng)控制模塊的單獨(dú)測(cè)試步驟；測(cè)試合格后，進(jìn)入步驟4；否則，根據(jù)測(cè)試結(jié)果更換控制模塊；并重新進(jìn)入步驟3；4）然后啟動(dòng)Sensor模塊的單獨(dú)測(cè)試步驟；測(cè)試合格后，進(jìn)入步驟5；否則，根據(jù)測(cè)試結(jié)果更換Sensor模塊；并重新進(jìn)入步驟4；5）然后啟動(dòng)整機(jī)測(cè)試模塊單獨(dú)測(cè)試步驟；測(cè)試合格后，進(jìn)入步驟6；否則，根據(jù)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行調(diào)修；并重新進(jìn)入步驟5；6）測(cè)試成功，進(jìn)行包裝。本發(fā)明提高工作效率。