一種RPS氣體解離的漏氣檢測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010352492.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111397810A | 公開（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111397810A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-10 |
| 分類號(hào) | G01M3/20(2006.01)I;G01M3/26(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 徐遠(yuǎn)波;劉銳;陳杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225000江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)蜀崗西路19號(hào)1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種RPS氣體解離的漏氣檢測(cè)方法，包括：在反應(yīng)腔內(nèi)加工待加工工件；將所述反應(yīng)腔設(shè)置在惰性氣體中；向所述反應(yīng)腔內(nèi)通入氧氣并點(diǎn)燃RPS氣體，再檢測(cè)所述反應(yīng)腔內(nèi)混合氣體的發(fā)射光譜數(shù)據(jù)；至少多次穩(wěn)定檢測(cè)到代表氣體的光譜大于參考值時(shí)判斷反應(yīng)腔漏氣。本發(fā)明具有實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)RPS氣體解離時(shí)反應(yīng)腔是否發(fā)生泄漏的能力，大大提高了檢測(cè)的效率且降低了檢測(cè)的難度，檢測(cè)的實(shí)時(shí)性好，有效提高了RPS氣體解離時(shí)的安全性。?? |
