一種RPS氣體解離的漏氣檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010352492.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111397810A 公開（公告）日 2020-07-10
申請公布號 CN111397810A 申請公布日 2020-07-10
分類號 G01M3/20(2006.01)I;G01M3/26(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 徐遠(yuǎn)波;劉銳;陳杰 申請（專利權(quán)）人 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)蜀崗西路19號1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種RPS氣體解離的漏氣檢測方法，包括：在反應(yīng)腔內(nèi)加工待加工工件；將所述反應(yīng)腔設(shè)置在惰性氣體中；向所述反應(yīng)腔內(nèi)通入氧氣并點燃RPS氣體，再檢測所述反應(yīng)腔內(nèi)混合氣體的發(fā)射光譜數(shù)據(jù)；至少多次穩(wěn)定檢測到代表氣體的光譜大于參考值時判斷反應(yīng)腔漏氣。本發(fā)明具有實時監(jiān)測RPS氣體解離時反應(yīng)腔是否發(fā)生泄漏的能力，大大提高了檢測的效率且降低了檢測的難度，檢測的實時性好，有效提高了RPS氣體解離時的安全性。??