一種RPS氣體解離裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020679290.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212068293U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212068293U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01D53/32(2006.01)I | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 劉銳;徐遠(yuǎn)波;尹巧星 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225000江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)蜀崗西路19號(hào)1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及RPS氣體解離裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種RPS氣體解離裝置，包括陽(yáng)極氧化箱與固定裝置，陽(yáng)極氧化箱兩側(cè)分別開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口與出氣口，進(jìn)氣口與出氣口外側(cè)均設(shè)有固定裝置，固定裝置靠近進(jìn)氣口一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣環(huán)，進(jìn)氣環(huán)外側(cè)設(shè)有固定環(huán)，固定環(huán)內(nèi)側(cè)設(shè)有若干個(gè)呈弧形結(jié)構(gòu)的夾板,夾板外壁通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐桿，固定環(huán)外壁靠近支撐桿的位置開(kāi)設(shè)有通孔，支撐桿嵌設(shè)于通孔內(nèi)部，支撐桿通過(guò)螺紋連接于通孔內(nèi)部，通過(guò)夾板擠壓固定導(dǎo)管，避免導(dǎo)管與進(jìn)氣環(huán)之間發(fā)生漏氣，提高了該裝置的密閉性。?? |
