一種RPS氣體解離裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020679290.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212068293U | 公開（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申請公布號 | CN212068293U | 申請公布日 | 2020-12-04 |
| 分類號 | B01D53/32(2006.01)I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 劉銳;徐遠(yuǎn)波;尹巧星 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225000江蘇省揚州市邗江區(qū)蜀崗西路19號1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及RPS氣體解離裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種RPS氣體解離裝置，包括陽極氧化箱與固定裝置，陽極氧化箱兩側(cè)分別開設(shè)有進氣口與出氣口，進氣口與出氣口外側(cè)均設(shè)有固定裝置，固定裝置靠近進氣口一側(cè)設(shè)有進氣環(huán)，進氣環(huán)外側(cè)設(shè)有固定環(huán)，固定環(huán)內(nèi)側(cè)設(shè)有若干個呈弧形結(jié)構(gòu)的夾板,夾板外壁通過軸承轉(zhuǎn)動連接有支撐桿，固定環(huán)外壁靠近支撐桿的位置開設(shè)有通孔，支撐桿嵌設(shè)于通孔內(nèi)部，支撐桿通過螺紋連接于通孔內(nèi)部，通過夾板擠壓固定導(dǎo)管，避免導(dǎo)管與進氣環(huán)之間發(fā)生漏氣，提高了該裝置的密閉性。?? |
