一種基于S參數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀測量真空電容ESR和Q值的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010351620.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111398693A 公開（公告）日 2020-07-10
申請公布號 CN111398693A 申請公布日 2020-07-10
分類號 G01R27/26(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 張超;劉銳;孫鵬 申請（專利權(quán)）人 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 225000江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)蜀崗西路19號1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種基于S參數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀測量真空電容ESR和Q值的方法，該方法包括：將S參數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀的兩測試端口通過傳輸線纜連接測試夾具；將待測真空電容的兩端連接在所述測試夾具中的微帶線與地線之間；測量待測真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值；根據(jù)待測真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值，計(jì)算輸出該待測真空電容的ESR值和Q值。本發(fā)明所示方法首先利用S參數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀計(jì)算出真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值，再根據(jù)諧振頻率、S21數(shù)值與ESR和Q值之間的關(guān)系可準(zhǔn)確計(jì)算出ESR和Q值，具有測量結(jié)果準(zhǔn)，測試過程簡單方便的優(yōu)點(diǎn)。??