一種基于S參數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量真空電容ESR和Q值的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010351620.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111398693A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111398693A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-10 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01R27/26(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 張超;劉銳;孫鵬 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225000江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)蜀崗西路19號(hào)1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種基于S參數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)量真空電容ESR和Q值的方法，該方法包括：將S參數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀的兩測(cè)試端口通過(guò)傳輸線(xiàn)纜連接測(cè)試夾具；將待測(cè)真空電容的兩端連接在所述測(cè)試夾具中的微帶線(xiàn)與地線(xiàn)之間；測(cè)量待測(cè)真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值；根據(jù)待測(cè)真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值，計(jì)算輸出該待測(cè)真空電容的ESR值和Q值。本發(fā)明所示方法首先利用S參數(shù)網(wǎng)絡(luò)分析儀計(jì)算出真空電容在不同頻率下的諧振頻率及該諧振頻率下的S21數(shù)值，再根據(jù)諧振頻率、S21數(shù)值與ESR和Q值之間的關(guān)系可準(zhǔn)確計(jì)算出ESR和Q值，具有測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)，測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)單方便的優(yōu)點(diǎn)。?? |
