射頻電源模擬控制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711443475.8 申請日 -
公開（公告）號 CN108121266B 公開（公告）日 2020-12-15
申請公布號 CN108121266B 申請公布日 2020-12-15
分類號 G05B19/048 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 劉銳;朱國俊 申請（專利權(quán)）人 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京文苑專利代理有限公司 代理人 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司;揚州市神州科技有限公司
地址 225000 江蘇省揚州市邗江區(qū)蜀崗西路19號1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種射頻電源模擬控制器，包括主控制板以及與主控制板相連接的SMPS、控制器件、外部輸入端口、控制端口、報警指示器、狀態(tài)切換開關(guān)、監(jiān)測端口、監(jiān)測設(shè)備、終端設(shè)備INTERLOCK和表頭顯示器，監(jiān)測設(shè)備與監(jiān)測端口相連接。本發(fā)明提供的射頻電源模擬控制器，控制簡單，需要的設(shè)備少，能實時記錄模擬量檢測結(jié)果，能實時監(jiān)測反饋的狀態(tài)，檢測結(jié)果準確，能夠方便地實時監(jiān)測射頻電源操作和輸出穩(wěn)定性能，為判斷射頻電源整體性能提供依據(jù)，可以很好地滿足實際應(yīng)用的需要。