一種PVD機(jī)臺(tái)搭接式防護(hù)罩

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821841765.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209144239U 公開（公告）日 2019-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN209144239U 申請(qǐng)公布日 2019-07-23
分類號(hào) C23C14/00;C23C14/50 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周磊;竇沛靜;丁媛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津市凌云精密機(jī)電有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 300000 天津市河西區(qū)微山路東三水道南(天津市歐娜漁具廠院內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種PVD機(jī)臺(tái)搭接式防護(hù)罩，包括內(nèi)托盤、第二主鍍膜托盤、第三主鍍膜托盤和第四主鍍膜托盤，所述內(nèi)托盤的頂部安裝有四個(gè)外托盤，且內(nèi)托盤頂部靠近外托盤的一側(cè)安裝有四個(gè)卡板，四個(gè)所述卡板的頂部均通過螺栓固定連接有第一主鍍膜托盤，所述第一主鍍膜托盤的一側(cè)安裝有第二鍍膜托盤和第三鍍膜托盤，所述第三鍍膜托盤位于第二鍍膜托盤的一側(cè)，所述第二主鍍膜托盤的一側(cè)安裝有第七鍍膜托盤和第八鍍膜托盤，所述第八鍍膜托盤位于第七鍍膜托盤的一側(cè)，所述第三主鍍膜托盤的一側(cè)安裝有第五鍍膜托盤和第十鍍膜托盤，本實(shí)用新型設(shè)置了內(nèi)托盤、外托盤和卡板，解決了裝置容易發(fā)生變形，縮短使用壽命的問題。