一種感光性樹脂組合物及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710188790.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106896644A 公開（公告）日 2017-06-27
申請公布號 CN106896644A 申請公布日 2017-06-27
分類號 G03F7/004;H01L23/29 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 于成華 申請（專利權(quán)）人 青島靖帆新材料科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 266000 山東省青島市市北區(qū)泰山路35號1527室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種感光性樹脂組合物及其應(yīng)用，其組成為：a)堿溶性樹脂b)1,2?二疊氮醌化合物；c)含環(huán)氧基的聚乙烯醇縮醛化合物；d)溶劑。本發(fā)明的有益效果在于：靈敏度、平整性、粘結(jié)性和熱穩(wěn)定性優(yōu)良，適宜形成半導(dǎo)體集成電路的絕緣平整化膜。