一種感光性樹(shù)脂組合物及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710190234.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106909024B 公開(kāi)（公告）日 2020-03-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN106909024B 申請(qǐng)公布日 2020-03-13
分類號(hào) G03F7/004;G03F7/027 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 于成華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青島靖帆新材料科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 111000 遼寧省遼陽(yáng)市燈塔市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)管理委員會(huì)辦公樓113室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種感光性樹(shù)脂組合物及其應(yīng)用，其組成為：a)堿溶性樹(shù)脂是含有碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂；b)乙烯基不飽和單體；c)光引發(fā)劑；d)溶劑。本發(fā)明的有益效果在于：其靈敏度、分辨力、平整度、粘結(jié)性和熱穩(wěn)定性優(yōu)良，適宜形成半導(dǎo)體集成電路的絕緣平整化膜。