一種感光性樹(shù)脂組合物及其應(yīng)用
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710190234.0 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN106909024B | 公開(kāi)(公告)日 | 2020-03-13 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN106909024B | 申請(qǐng)公布日 | 2020-03-13 |
分類號(hào) | G03F7/004;G03F7/027 | 分類 | 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕; |
發(fā)明人 | 于成華 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 青島靖帆新材料科技股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 111000 遼寧省遼陽(yáng)市燈塔市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)管理委員會(huì)辦公樓113室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種感光性樹(shù)脂組合物及其應(yīng)用,其組成為:a)堿溶性樹(shù)脂是含有碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂;b)乙烯基不飽和單體;c)光引發(fā)劑;d)溶劑。本發(fā)明的有益效果在于:其靈敏度、分辨力、平整度、粘結(jié)性和熱穩(wěn)定性優(yōu)良,適宜形成半導(dǎo)體集成電路的絕緣平整化膜。 |
