一種感光性樹脂組合物及其應用
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201710190234.0 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN106909024A | 公開(公告)日 | 2017-06-30 |
申請公布號 | CN106909024A | 申請公布日 | 2017-06-30 |
分類號 | G03F7/004;G03F7/027 | 分類 | 攝影術;電影術;利用了光波以外其他波的類似技術;電記錄術;全息攝影術〔4〕; |
發(fā)明人 | 于成華 | 申請(專利權)人 | 青島靖帆新材料科技股份有限公司 |
代理機構 | - | 代理人 | - |
地址 | 266000 山東省青島市市北區(qū)泰山路35號1527室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種感光性樹脂組合物及其應用,其組成為:a)堿溶性樹脂是含有碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂;b)乙烯基不飽和單體;c)光引發(fā)劑;d)溶劑。本發(fā)明的有益效果在于:其靈敏度、分辨力、平整度、粘結性和熱穩(wěn)定性優(yōu)良,適宜形成半導體集成電路的絕緣平整化膜。 |
