一種感光性樹脂組合物及其應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710190234.0 申請日 -
公開（公告）號 CN106909024A 公開（公告）日 2017-06-30
申請公布號 CN106909024A 申請公布日 2017-06-30
分類號 G03F7/004;G03F7/027 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 于成華 申請（專利權）人 青島靖帆新材料科技股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 266000 山東省青島市市北區(qū)泰山路35號1527室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種感光性樹脂組合物及其應用，其組成為：a)堿溶性樹脂是含有碳碳雙鍵的聚乙烯醇縮醛樹脂；b)乙烯基不飽和單體；c)光引發(fā)劑；d)溶劑。本發(fā)明的有益效果在于：其靈敏度、分辨力、平整度、粘結性和熱穩(wěn)定性優(yōu)良，適宜形成半導體集成電路的絕緣平整化膜。