一種燃料電池雙極板碳涂層連續(xù)沉積系統(tǒng)及其應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811584590.1 申請日 -
公開（公告）號 CN109576679B 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN109576679B 申請公布日 2022-03-22
分類號 B05D1/00（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐一凡;藍樹槐;姜天豪;黎煥明;畢飛飛 申請（專利權(quán)）人 上海治臻新能源股份有限公司
代理機構(gòu) 上海世圓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳穎潔;王佳妮
地址 201306 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)層林路1500號1幢廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種燃料電池雙極板碳涂層連續(xù)沉積系統(tǒng)，包括：進片室、進片過渡室、涂層工藝室、出片過渡室和出片室；進片室外一側(cè)設有出口閥門，進片過渡室、涂層工藝室和出片過渡室的室外兩側(cè)分別設有進口閥門和出口閥門，出片室外一側(cè)設有進口閥門；在每兩個室之間設有傳輸室，通過閥門和傳輸室將各室按照順序串聯(lián)連接；樣品傳送裝置穿過沉積系統(tǒng)的各室內(nèi)部，形成一條閉合回路，樣品架設在樣品傳送裝置上；進片過渡室、涂層工藝室和出片過渡室內(nèi)分別設有真空抽氣裝置；在涂層工藝室內(nèi)的底部鋪設有加熱裝置。本發(fā)明有效降低涂層沉積時間，實現(xiàn)工藝的連續(xù)化運行，對各級涂層工藝實現(xiàn)精確有效監(jiān)管，提高了涂層的沉積效率，適用于大批量涂層的制備。