一種帶溫度采樣功能的屏蔽柵器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210403811.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114496995B 公開(kāi)（公告）日 2022-06-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN114496995B 申請(qǐng)公布日 2022-06-17
分類號(hào) H01L23/544（2006.01）I;H01L29/06（2006.01）I;G01K7/01（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李偉聰;姜春亮;雷秀芳;林泳浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市威兆半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京惟盛達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道福光社區(qū)留仙大道3370號(hào)南山智園崇文園區(qū)3號(hào)樓1301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶溫度采樣功能的屏蔽柵器件，器件的元胞區(qū)包括多個(gè)常規(guī)元胞和多個(gè)采樣元胞，通過(guò)利用所述采樣元胞中多晶硅PN結(jié)二極管正向壓降的負(fù)溫度特性，將多晶硅PN結(jié)二極管作為溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)屏蔽柵器件的溫度變化。由于采樣元胞與常規(guī)元胞集成，能夠更好監(jiān)測(cè)到屏蔽柵器件的內(nèi)部溫度，從而在出現(xiàn)過(guò)溫時(shí)及時(shí)檢測(cè)，避免器件被燒毀。同時(shí)由于采樣元胞的結(jié)構(gòu)相對(duì)于常規(guī)元胞微調(diào)，因此采樣元胞與常規(guī)元胞工藝兼容，采樣相同工藝步驟制作完成，不會(huì)過(guò)多增加工藝難度，節(jié)約成本。