一種直寫光刻機(jī)吸盤壓板裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010901500.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN111965951A | 公開(公告)日 | 2020-11-20 |
申請公布號 | CN111965951A | 申請公布日 | 2020-11-20 |
分類號 | G03F7/20 | 分類 | 攝影術(shù);電影術(shù);利用了光波以外其他波的類似技術(shù);電記錄術(shù);全息攝影術(shù)〔4〕; |
發(fā)明人 | 王群 | 申請(專利權(quán))人 | 江蘇九迪激光裝備科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
地址 | 210000 江蘇省徐州市邳州市岔河鎮(zhèn)岔河電子產(chǎn)業(yè)園 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種直寫光刻機(jī)吸盤壓板裝置,包括置物板,所述置物板的下端固定連接有多個支撐座,所述置物板的上端固定連接有第一安裝板和第二安裝板,所述第一安裝板和第二安裝板固定連接,所述第一安裝板和第二安裝板上均設(shè)置有壓緊機(jī)構(gòu),所述置物板的內(nèi)部設(shè)置有吸附機(jī)構(gòu)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,充分的對PCB進(jìn)行壓緊以及吸附固定,方便提高加工時的穩(wěn)定性,以保證加工的質(zhì)量,同時緩沖層的設(shè)置避免對PCB的表面造成損壞。 |
