一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010902651.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111983902A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111983902A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 王群 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇九迪激光裝備科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210000江蘇省徐州市邳州市岔河鎮(zhèn)岔河電子產(chǎn)業(yè)園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種轉(zhuǎn)盤式雙面光刻機(jī)及其物料傳送裝置，包括光刻機(jī)本體，所述光刻機(jī)本體的下端固定連接有多個(gè)行走機(jī)構(gòu)，所述光刻機(jī)本體的下方設(shè)有多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)，所述光刻機(jī)本體側(cè)壁上固定連接有斜桿，所述斜桿的上端固定連接有物料傳送裝置。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，具有方便移動(dòng)與放置光刻機(jī)以及可以事先清潔物料，提高光刻機(jī)工作效率的好處。?? |
