用于光刻機(jī)上的真空檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010902638.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111965952A 公開(kāi)（公告）日 2020-11-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN111965952A 申請(qǐng)公布日 2020-11-20
分類(lèi)號(hào) G03F7/20 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王群 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇九迪激光裝備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 210000 江蘇省徐州市邳州市岔河鎮(zhèn)岔河電子產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了用于光刻機(jī)上的真空檢測(cè)裝置，包括底座，所述底座上固定連接有兩個(gè)支撐板，兩個(gè)所述支撐板之間固定連接有安裝板，所述安裝板與底座之間設(shè)有可以升降的連接板，所述連接板的兩端均設(shè)有可以調(diào)節(jié)的壓板機(jī)構(gòu)，所述底座上設(shè)有滑動(dòng)槽，所述滑動(dòng)槽內(nèi)滑動(dòng)連接有兩個(gè)壓臺(tái)，兩個(gè)所述壓臺(tái)與兩個(gè)支撐板之間設(shè)有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述連接板的底部設(shè)有可以移動(dòng)的真空檢測(cè)裝置，所述壓板機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在連接板內(nèi)的安裝槽，所述安裝槽內(nèi)滑動(dòng)連接有L型板，所述連接板上貫穿設(shè)有與其螺紋連接的定位螺栓。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，可以對(duì)不同大小的掩膜版進(jìn)行限位，便于對(duì)其進(jìn)行真空檢測(cè)，實(shí)用性較好，也可以對(duì)掩膜版進(jìn)行保護(hù)，防止其受損。