適于接觸式光刻機的分區(qū)域曝光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021870610.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213023942U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213023942U 申請公布日 2021-04-20
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王群 申請（專利權(quán)）人 江蘇九迪激光裝備科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 210000江蘇省徐州市邳州市岔河鎮(zhèn)岔河電子產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了適于接觸式光刻機的分區(qū)域曝光裝置，包括底座，所述底座的下表面固定連接有固定盤，所述底座的上表面固定連接有固定柱，所述固定柱的上表面開設(shè)有凹槽，所述凹槽的內(nèi)底壁固定連接有液壓伸縮柱，所述液壓伸縮柱的上表面固定連接有托板，所述托板的上表面固定連接有工作臺，所述固定柱的側(cè)面固定連接有固定箱，所述固定箱的兩側(cè)開設(shè)有進(jìn)料口。該適于接觸式光刻機的分區(qū)域曝光裝置，通過設(shè)置底座、固定盤、固定柱、凹槽、液壓伸縮柱、托板和工作臺，便于把基片放在工作臺上，并啟動液壓伸縮柱，使其伸縮帶動托板上升，托板上升帶動工作臺上升，工作臺上升帶動基片與固定箱內(nèi)壁的橫俺模搭接，從而達(dá)到便于對基片進(jìn)行曝光的效果。??