一種光刻機工件臺移動調(diào)整裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021867036.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213023940U 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN213023940U 申請公布日 2021-04-20
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 王群 申請（專利權）人 江蘇九迪激光裝備科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 210000江蘇省徐州市邳州市岔河鎮(zhèn)岔河電子產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種光刻機工件臺移動調(diào)整裝置，包括工件箱，所述工件箱的內(nèi)部放置有工件臺，所述工件箱的內(nèi)底壁設置有校準機構，所述工件臺的下表面轉(zhuǎn)動連接有若干個移動滾輪，所述工件箱的內(nèi)底壁固定連接有與移動滾輪相適配的滾槽，所述工件臺的兩側(cè)均設置有定位機構，所述工件臺的背面固定連接有固定塊。該光刻機工件臺移動調(diào)整裝置，通過固定塊和固定銷相配合，可以固定整個工件臺的位置，使其在工作的過程中不易移動，通過同步驅(qū)動電機可以同步驅(qū)動移動滾輪，可以使移動滾輪沿著滾槽的方向移動，從而達到了移動滾輪可以帶動整個工件臺移動的效果，工件臺移出后方便光刻機的維護與保養(yǎng)。??