顯示面板及其制作方法、顯示裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911189331.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110867411B 公開（公告）日 2022-07-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN110867411B 申請(qǐng)公布日 2022-07-19
分類號(hào) H01L21/77（2017.01）I;H01L27/12（2006.01）I;H01L21/28（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王明;劉軍;趙策 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥鑫晟光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100015北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋路10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，提出一種顯示面板及其制作方法、顯示裝置，該顯示面板制作方法包括：提供一顯示面板半成品，顯示面板半成品包括基板、半導(dǎo)體層，柵極絕緣材料層，柵極層；在柵極絕緣材料層背離基板的一側(cè)形成隔絕材料層，以覆蓋柵極層，其中，隔絕材料層能夠阻止柵極層的金屬離子遷移；在隔絕材料層上形成第一光刻膠材料層；對(duì)第一光刻膠材料層進(jìn)行曝光，顯影以使第一光刻膠材料層形成第一光刻膠圖案層，其中，第一光刻膠圖案層的正投影覆蓋柵極層；對(duì)隔絕材料層進(jìn)行刻蝕，以形成隔絕層；對(duì)柵極絕緣材料層進(jìn)行刻蝕，以形成柵極絕緣層。本制作方法制成的顯示面板避免了柵極層和源漏層短路，同時(shí)能夠控制柵極絕緣層尾部的寬度。