三維存儲器、其制作方法及具有其的存儲系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110790963.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113517298A 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN113517298A 申請公布日 2021-10-19
分類號 H01L27/1157（2017.01）I;H01L27/11582（2017.01）I;H01L27/11575（2017.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳采宇;蒲浩;高庭庭;李拓 申請（專利權(quán)）人 長江存儲科技有限責任公司
代理機構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 代理人 王曉玲
地址 430074湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來三路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N三維存儲器、其制作方法及具有其的存儲系統(tǒng)。該制作方法包括以下步驟：提供襯底，襯底上具有堆疊體；在堆疊體上形成導電介質(zhì)層，并形成由導電介質(zhì)層貫穿至堆疊體的頂部選擇柵切線；在堆疊體和導電介質(zhì)層中形成貫穿至襯底的多排溝道孔列，并在各排溝道孔列中的溝道通孔中形成溝道結(jié)構(gòu)。通過將頂部選擇柵切線的制作工序移至填充控制柵結(jié)構(gòu)的步驟之前，降低了現(xiàn)有制作選擇柵切線的步驟中需要刻蝕多層材料而導致的工藝困難，有利于柵極隔槽見溝道孔數(shù)量的增加，進而有利于器件存儲密度的提升。