衍射光學(xué)組件及獲取方法、光學(xué)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110397369.0 申請日 -
公開(公告)號 CN113514910A 公開(公告)日 2021-10-19
申請公布號 CN113514910A 申請公布日 2021-10-19
分類號 G02B5/00(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03F1/84(2012.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 方紅;姜鵬 申請(專利權(quán))人 長江存儲科技有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 熊永強
地址 430074湖北省武漢市武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來三路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝搜苌涔鈱W(xué)組件及獲取方法、光學(xué)系統(tǒng)。其中衍射光學(xué)組件包括第一基礎(chǔ)元件,第一基礎(chǔ)元件具有第一透光區(qū)及第一非透光區(qū)。第二基礎(chǔ)元件,第二基礎(chǔ)元件具有第二透光區(qū)及第二非透光區(qū),第一基礎(chǔ)元件與第二基礎(chǔ)元件層疊設(shè)置,第一非透光區(qū)覆蓋至少部分第二透光區(qū),第二非透光區(qū)覆蓋至少部分第一透光區(qū),并使剩余的第一透光區(qū)與剩余的第二透光區(qū)形成目標(biāo)透光區(qū)。通過第一基礎(chǔ)元件與第二基礎(chǔ)元件的組合,使原本復(fù)雜的衍射光學(xué)元件分解成幾個簡單的基礎(chǔ)元件,從而降低衍射光學(xué)元件的制備難度與制備時間,降低了檢測成本。另外,由于第一基礎(chǔ)元件與第二基礎(chǔ)元件可重復(fù)使用,可進一步降低衍射光學(xué)元件的成本。