衍射光學(xué)組件及獲取方法、光學(xué)系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202110397369.0 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113514910A | 公開(公告)日 | 2021-10-19 |
申請公布號 | CN113514910A | 申請公布日 | 2021-10-19 |
分類號 | G02B5/00(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03F1/84(2012.01)I | 分類 | 光學(xué); |
發(fā)明人 | 方紅;姜鵬 | 申請(專利權(quán))人 | 長江存儲科技有限責(zé)任公司 |
代理機構(gòu) | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 熊永強 |
地址 | 430074湖北省武漢市武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來三路88號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本申請?zhí)峁┝搜苌涔鈱W(xué)組件及獲取方法、光學(xué)系統(tǒng)。其中衍射光學(xué)組件包括第一基礎(chǔ)元件,第一基礎(chǔ)元件具有第一透光區(qū)及第一非透光區(qū)。第二基礎(chǔ)元件,第二基礎(chǔ)元件具有第二透光區(qū)及第二非透光區(qū),第一基礎(chǔ)元件與第二基礎(chǔ)元件層疊設(shè)置,第一非透光區(qū)覆蓋至少部分第二透光區(qū),第二非透光區(qū)覆蓋至少部分第一透光區(qū),并使剩余的第一透光區(qū)與剩余的第二透光區(qū)形成目標(biāo)透光區(qū)。通過第一基礎(chǔ)元件與第二基礎(chǔ)元件的組合,使原本復(fù)雜的衍射光學(xué)元件分解成幾個簡單的基礎(chǔ)元件,從而降低衍射光學(xué)元件的制備難度與制備時間,降低了檢測成本。另外,由于第一基礎(chǔ)元件與第二基礎(chǔ)元件可重復(fù)使用,可進一步降低衍射光學(xué)元件的成本。 |
