高速垂直發(fā)射單片集成型直接調(diào)制DFB激光器及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610090737.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105576502B 公開（公告）日 2018-08-31
申請公布號 CN105576502B 申請公布日 2018-08-31
分類號 H01S5/12;H01S5/343;H01S5/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 唐琦;王漢華 申請（專利權(quán)）人 武漢光安倫光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 武漢光安倫光電技術(shù)有限公司
地址 430074 湖北省武漢市東湖開發(fā)區(qū)光谷金融港B26-802
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種垂直發(fā)射的單片集成型直接調(diào)制DFB激光器及其制作方法。本發(fā)明采用源增益區(qū)和無源波導(dǎo)區(qū)對接的模式形成了高質(zhì)量的超短光學(xué)諧振腔結(jié)構(gòu)，從而提高了高調(diào)制頻率的直接調(diào)制DFB激光器的可靠性和光譜的質(zhì)量。另外，本發(fā)明利用無源波導(dǎo)區(qū)形成的45度反射面實現(xiàn)激光的垂直發(fā)射，克服現(xiàn)有技術(shù)中由于激光器側(cè)面出光而不能實現(xiàn)的發(fā)射高密度的并行光互聯(lián)的技術(shù)問題。同時本發(fā)明利用折射率和增益耦合疊加的λ/4相移光柵配合脊型波導(dǎo)實現(xiàn)激光器良好的高速調(diào)制性能。另外，本發(fā)明利用單片集成工藝制作激光器，可以實現(xiàn)小尺寸、高度集成化以及高密度的光互聯(lián)。