一種太陽能電池板硅基片表面檢測(cè)用光學(xué)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010722330.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111983814A | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111983814A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號(hào) | G02B27/09(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 邱洪榮;金浩程 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 常州市奧普泰克光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 常州格策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 徐靜 |
| 地址 | 213000江蘇省常州市新北區(qū)羅溪鎮(zhèn)旺財(cái)路10號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種太陽能電池板硅基片表面檢測(cè)用光學(xué)系統(tǒng)，第一球面鏡的出光面與第二球面鏡的入光面為邊緣接觸式連接，第二球面鏡的出光面與第三球面鏡的入光面之間設(shè)有間距，微透鏡包括第一微透鏡和第二微透鏡，第一微透鏡和第二微透鏡的相對(duì)鏡面的Y軸方向均設(shè)有球面陣列結(jié)構(gòu)。通過上述方式，本發(fā)明采用三片球面鏡對(duì)激光光束進(jìn)行準(zhǔn)直，再經(jīng)過兩片微透鏡陣列在Y軸方向聚焦成線性光。三片球面鏡對(duì)激光發(fā)散角進(jìn)行壓縮準(zhǔn)直，微透鏡陣列在Y方向?qū)?zhǔn)直后的光束進(jìn)行會(huì)聚，而對(duì)X方向的光束進(jìn)行發(fā)散，最終在工作面上形成長度為180?200mm，寬度為0.6?0.8mm的線性光斑，相鄰微透鏡陣列之間重合光斑區(qū)域5mm，重疊光斑優(yōu)化完成均勻度在90%左右。?? |
