一種對反應(yīng)爐爐蓋進行升降和翻轉(zhuǎn)的機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320577197.6 申請日 -
公開（公告）號 CN203534191U 公開（公告）日 2014-04-09
申請公布號 CN203534191U 申請公布日 2014-04-09
分類號 F27D1/18;C23C16/00 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 樊志濱;陳依新;王勇飛 申請（專利權(quán)）人 北京思捷愛普半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 北京思海天達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉萍
地址 101312 北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)空港工業(yè)園A區(qū)竺園路8號4號廠房1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種對反應(yīng)爐爐蓋進行升降和翻轉(zhuǎn)的機構(gòu)屬于半導(dǎo)體外延生長設(shè)備領(lǐng)域。它包括升降氣缸、安裝在機罩內(nèi)部的伺服電機、蝸輪蝸桿減速機，安裝在機罩外部的磁流體，旋轉(zhuǎn)軸通過聯(lián)軸器與爐蓋相連接。本技術(shù)方案中，升降氣缸安裝在爐體旁，氣缸活塞桿上端連接機罩，通過氣缸活塞桿的升降，對機罩、伺服電機、蝸輪蝸桿減速機連同爐蓋進行同時升降，并在伺服電機帶動下，通過蝸輪蝸桿減速機，將爐蓋進行翻轉(zhuǎn)。此設(shè)計使?fàn)t蓋能上下升降，并繞其縱向軸做翻轉(zhuǎn)，解決了因爐蓋不能翻轉(zhuǎn)，襯底片倒置在爐蓋上的反應(yīng)爐取片、放片工作不方便、襯底易掉落損害的問題；同樣，此設(shè)計解決石英板更換產(chǎn)生的風(fēng)險，提高了生產(chǎn)效率。