一種對(duì)反應(yīng)爐爐蓋進(jìn)行升降和翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201320577197.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN203534191U 公開(kāi)（公告）日 2014-04-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN203534191U 申請(qǐng)公布日 2014-04-09
分類(lèi)號(hào) F27D1/18;C23C16/00 分類(lèi) 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 樊志濱;陳依新;王勇飛 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京思捷愛(ài)普半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉萍
地址 101312 北京市順義區(qū)天竺綜合保稅區(qū)空港工業(yè)園A區(qū)竺園路8號(hào)4號(hào)廠(chǎng)房1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種對(duì)反應(yīng)爐爐蓋進(jìn)行升降和翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)屬于半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)設(shè)備領(lǐng)域。它包括升降氣缸、安裝在機(jī)罩內(nèi)部的伺服電機(jī)、蝸輪蝸桿減速機(jī)，安裝在機(jī)罩外部的磁流體，旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)聯(lián)軸器與爐蓋相連接。本技術(shù)方案中，升降氣缸安裝在爐體旁，氣缸活塞桿上端連接機(jī)罩，通過(guò)氣缸活塞桿的升降，對(duì)機(jī)罩、伺服電機(jī)、蝸輪蝸桿減速機(jī)連同爐蓋進(jìn)行同時(shí)升降，并在伺服電機(jī)帶動(dòng)下，通過(guò)蝸輪蝸桿減速機(jī)，將爐蓋進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。此設(shè)計(jì)使?fàn)t蓋能上下升降，并繞其縱向軸做翻轉(zhuǎn)，解決了因爐蓋不能翻轉(zhuǎn)，襯底片倒置在爐蓋上的反應(yīng)爐取片、放片工作不方便、襯底易掉落損害的問(wèn)題；同樣，此設(shè)計(jì)解決石英板更換產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)，提高了生產(chǎn)效率。